コアテクノロジー株式会社
真空技術・加熱技術を用いた半導体製造
装置のソフト設計
・装置操作画面作成
・装置に付随する各機器との通信(RS232,
RS485, TCP/IP)
・主な機器は、モーター(位置または速度
制御)・温度制御・MFC(ガス流量制御)・
APC(圧力制御)など
・レシピ実行 ・ロギング
・装置自動運転
・ユーザー毎のアクセス権の管理 など
・プログラミングツール(Microsoft Visual
Studio, Basic, C++)
・PLC(Programmable Logic Controller,
キーエンス, 三菱)
・PLCはリモートI/O, インターロック主体
で、主要な制御を行う為のソフトとしては
使用していません。
・複雑化する要求仕様に対応するため、主
にパソコンソフト側で制御しています。
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